в вакуумной технике, обнаружение мест нарушения герметичности (См. Герметичность) вакуумных систем. Осуществляется приборами, называемыми течеискателями. Простейший способ нахождения течей - с помощью искрового течеискателя (см. Тесла трансформатор), которым обнаруживают течи в стеклянных оболочках по искре, возникающей при прикосновении иглы течеискателя к дефектному месту. Наименьшее натекание оценивается в 10^-4 н․м/сек, или 10^-3 л․мм рт. ст./сек. Для обнаружения более "тонких" течей в любых оболочках (стеклянных, металлических и др.) используют масс-спектрометрические течеискатели. Негерметичность определяют по проникновению в систему пробного вещества (обычно Не), которым её обдувают снаружи. Масс-спектрометр (См. Масс-спектрометры), настроенный на индикацию Не, включают в вакуумную систему и по показанию его регистрирующего устройства судят о наличии и размерах течи. Гелиевым течеискателем обнаруживают течи 10^-15 н․м/сек, или 10^-14 л․мм рт. ст./сек. Применяются и др. пробные вещества (например, Аr).

Действие галогенного течеискателя основано на свойстве некоторых металлов (например, Pt, Ni), эмитирующих при нагреве ионы примесей щелочных металлов, увеличивать эмиссию в присутствии галогенов (галогенный эффект, обусловливающий поверхностную ионизацию (См. Поверхностная ионизация)). Пробными веществами чаще всего служат фреоны. По изменению ионного тока судят о наличии и размерах течи. Галогенными течеискателями обнаруживают течи до 10^-9 н․мм рт. ст./сек, или 10^-8 л․мм рт. ст./сек. Менее распространены другие методы Т.: люминесцентный, меченых атомов и т. п.

Лит.: Ланис В. А., Левина Л. Е., Техника вакуумных испытаний, 2 изд., М.-Л., 1963.

Л. Е. Левина.